顕微分光膜厚計 OPTMseries 特長●ナノオーダーの薄膜測定 (膜厚範囲:1nm~92µm ※SiO2換算)●顕微タイプでパターンサンプルでも測定可能●研究開発、品質管理の様々な用途向け●半導体、電子部品、自動車、ディスプレイ、医療 など、様々な分野の機能性材料の評価として活躍!