分光干渉式ウェーハ厚み計 SF-3 特長●厚いウェーハなどの厚膜測定 (膜厚範囲:6~1300µm ※Si換算)●高速測定でリアルタイムに研磨モニタが可能●装置組み込みからシステム仕様まで提案可能●主に半導体分野で活躍!ウェーハ基板の厚み評価のアプリケーションを提供